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    產品資料

    EBARA ESR系列 真空泵維修

    如果您對該產品感興趣的話,可以
    產品名稱: EBARA ESR系列 真空泵維修
    產品型號: ESR100WN
    產品展商: EBARA真空泵維修
    產品文檔: 無相關文檔

    簡單介紹

    蘇州曼特萊精密電子有限公司提供EBARA ESR100WN真空泵維修以及各類進口真空泵維修。配件確保原裝進口,物美價廉。


    EBARA ESR系列 真空泵維修  的詳細介紹
    ESR系列是新研發的應用廣泛的羅桿式干式真空泵,對于L/L,SEM等較輕負荷的制程和腐蝕性制程都可以使用。 性能上具有排氣速度可調節,高通信處理功能,從而適應了省功耗,占地面積小,重量輕的工藝要求。
     
    特點:
     *適合用于輕負荷的制程及腐性氣體制程      
     低的運行成本,省功耗,*大可60%(與本公司AA系列相比
     無需N2來做密封(ESR20N
     小型化,重量,*大減少40% (與本公司AA系列相比
     增加速控制
     高性能的通信機能
     采用高度控制的運
     
     
    ESR Series
    Specifications Unit ESR20N ESR80WN ESR200WN ESR300WN
    Pumping Speed 
    50/60 Hz
    抽氣速度
    CFM
    46 - 71
    141 - 300
    353 - 706
    1059
    L/min
    1300 - 2000
    4,000 - 8,500
    10,000 - 20,000
    30,000
    M3/Hr
    78 - 120
    240 - 510
    600 - 1,200
    1,800
    Ultimate Pressure 
    50/60 Hz
    mTorr 5 1.5 1 1.5
    Pa 0.67 0.2 0.13 0.2
    mBar 0.0067 0.002 0.0013 0.002
    Connection
    接口
    Gas Inlet
    NW 40
    NW 50
    ISO100
    NW 100
    Gas Outlet
    NW 40
    NW 40
    NW 40
    NW 40
    Power at Ultimate Pressure
    到達底壓時的功率 
    KW
    0.55 - 0.70
    0.8 - 1.9
    0.8 - 1.1
    2.9
    Maximum Power
    *大功率
    KW 2.5 4.5 5 7.5
    Cooling Water Requirements
    冷卻水要求
    Min. Flow Rate 2 2 2 3.5
    L/min
    Bearing and Dilution N2
    隔離和稀N2
    Bearing Seals
    0 to 12
    2 to 12
    2 to 12
    2 to 12
    L/min
    Cabinet Dimensions inches
    25 x 11 x 12.6
    26 x 15 x 25.8
    31.1 x 15 x 25.8
    33 x 19 x 35
    LxWxH
    外型尺寸 
    mm
    635 x 280 x 320
    660 x 380 x 655
    790 x 380 x 644
    (825 x 460 x 880)
    Weight
    重量
    lbs 200 400 520 860
    kg 90 180 250 390

    產品名稱:EBARA ESR100WN真空泵維修

    蘇州曼特萊精密電子有限公司主營:
    一、進口真空泵維修
    1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
    2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
    3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
    5、EBARA(荏原):ESA系列、ESR系列、EST系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列,EBARA ESR100WN真空泵維修等
    6、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
    7、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
    8、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
    9、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
    10、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
    11、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。

    二、進口真空泵配件銷售:
    1、類型:真空泵專用維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
    2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

    三、進口真空油銷售:
    品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS專用真空油、ADIXEN專用真空油等。
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